国家/地区 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01G053/00(3)
发明人 YAMAZAKI S(2)
公开年 2022(3)
申请年 2021(3) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)