| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 |
C(2)
|
| IPC大类 |
C01(2)
|
| IPC小类 |
C01B(2)
|
| IPC |
C23C014/16(2)
|
| 发明人 | |
| 公开年 |
2022(2)
|
| 申请年 | |
| 专利权人 |
ZANG X, CAO N, QI H, SHAO Q
ZHENG X, LIU W, YU X, YU Y, LIU J, YANG X
