| 国家/地区 |
中国(2)
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| IPC部 |
C(2)
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| IPC大类 |
C01(2)
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| IPC小类 |
C01B(2)
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| IPC |
C23C016/26(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
QIN C, LI T, WANG Q, LOU H, SHI L, LUO L, HUANG S
MALECKI H C, DAHNE J L, LOEBACH J P, GAIGLER R L, LEDFORD J T, MALECKI H, DAHNE J, LOEBACH J, GAIGLER R, LEDFORD J
