国家/地区 韩国(5) 美国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5) C01B031/02(3) C01B031/04(3)
H01L021/02(2)
发明人 HAM M H(2) SON M W(2)
公开年 2015(2)
申请年
专利权人 GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(5)