国家/地区 | 韩国(5) 美国(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)
C01B031/02(3)
C01B031/04(3)
H01L021/02(2) |
发明人 | HAM M H(2) SON M W(2) |
公开年 | 2015(2) |
申请年 | |
专利权人 |
GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(5)![]() |
HAM M H, SON M W, MYUNGWOO S
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
PARK S J, KWON H J, KANG J W, KIM N Y