国家/地区 日本(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3) C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/02(3)
发明人 YUKAWA M(3)
公开年 2013(3)
申请年 2012(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)

TODORIKI H, YUKAWA M, SAITO Y, YAMAKAJI M, YATABE R, IKENUMA T, TODOROKI H, YUGAWA M, YONEDA Y, TSUKUDA R