国家/地区 美国(3) 中国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(2)
C04B035/583(2) C04B035/622(2) C04B035/653(2)
C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 SUNG C(3) HU S C(2) LIN I(2)
YU C(2)
公开年
申请年
专利权人 SUNG C(3)