国家/地区 | 美国(3) 中国(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B82(3)![]() |
IPC小类 |
B82Y(3)![]() |
IPC |
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3)
C01B031/04(2)
C04B035/583(2) C04B035/622(2) C04B035/653(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2) |
发明人 |
SUNG C(3)
HU S C(2)
LIN I(2)
YU C(2) |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
SUNG C(3)![]() |
SUNG C, HU S C, LIN I, YU C
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H