国家/地区 | |
IPC部 |
C(2)![]() |
IPC大类 |
C01(2)![]() |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC | C23C016/26(2) |
发明人 |
ZHANG L(2)![]() |
公开年 |
2023(2)![]() |
申请年 | 2022(2) |
专利权人 |
LI Z, ZHANG L, TU R, XU Q, ZHANG S
ENTERKIN J A, WORFOLK B J, ZHANG L