国家/地区 |
中国(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)
C01(3)
C23(3)
B82(2) H01(2) H05(2) |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC |
C23C016/26(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) |
申请年 |
2013(3)![]() |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G