国家/地区 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 美国(3) 德国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/02(3)
发明人 ENDO M(3) YANAGISAWA T(3) YANAGISAWA G C C(2)
公开年 2002(3)
申请年 2002(3) 
专利权人 ENDO M(3) GSI CREOS CO.(3)