国家/地区 韩国(4) 中国(3) 日本(3) 美国(3) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C30B029/02(5) C01B032/186(4) C01B032/184(3)
C01B032/194(3) C01B032/198(3) C30B025/18(3)
C01B032/05(2) C01B032/156(2) C01B032/16(2)
C01B032/168(2) C01B032/956(2) C23C016/02(2)
C23C016/26(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2022(12)
申请年 2021(12)
专利权人