国家/地区 美国(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 B82(2)
IPC小类 B82Y(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C04B035/583(2)
C04B035/622(2) C04B035/653(2) C23C014/06(2)
H01L021/02(2)
发明人 HU S C(2) LIN I(2) SUNG C(2)
YU C(2)
公开年
申请年
专利权人 SUNG C(2)