国家/地区 |
中国(6)![]() |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
C09(6)![]() |
IPC小类 |
C09D(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2023(2) |
申请年 | 2022(2) |
专利权人 |
ZHANG G, LI X, XIA J, ZHU Z, WANG S
CHEN L, CHEN S, YIN Y, ZHOU J, ZHOU Q, QI X
HAVERMANS D, SALLARD S, SHAFIQUE A, VANGENEUGDEN D, VANHULSEL A, HARDY A, SALAH S, SHAFIK A, VAN GENUGDEN D, HARDY N
KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M