国家/地区 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C016/26(4)
发明人
公开年 2016(2)
申请年 2016(2) 
专利权人