国家/地区 | 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(2) |
申请年 | 2016(2) |
专利权人 |
SHIVAREDDY S, BOHM S, PATOLE S, THAKUR D B, VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
ZARETSKI A, LIPOMI D J