国家/地区 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3) C25(3) B82(2)
C22(2) F28(2)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C018/16(3)
发明人 JANG B Z(3) ZHAMU A(3) LIN Y(2)
公开年 2019(2)
申请年 2018(2) 
专利权人 NANOTEK INSTR INC(3)