国家/地区 韩国(3) 美国(3) 中国(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C25D(4)
IPC C01B031/04(3) C23C014/34(2) C23C016/26(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(2) 2017(2)
申请年 2016(4)
专利权人