国家/地区 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/04(3) C23C014/34(2) C23C016/26(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(2)
申请年 2016(3)
专利权人