国家/地区 |
美国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C01B031/04(4)
C23C014/34(2)
C23C016/26(2)
H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2016(4)![]() |
申请年 | 2015(2) 2016(2) |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
ZARETSKI A, LIPOMI D J
KURTZ R, BENNAHMIAS M