国家/地区 | 日本(4) 韩国(4) 美国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 中国(2) |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B32(4)![]() |
IPC小类 |
B32B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | 2009(2) |
专利权人 |
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
BARATON L, COJOCARU C S, PRIBAT D, COJOCARU C
SUEMITSU M, KONNO A, MIYAMOTO Y, MAKI S, ASSEUSI G, YU M