国家/地区 美国(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C30(13) C01(11) H01(7)
C23(6) B82(4) B01(2)
C09(2)
IPC小类 C30B(13)
IPC C30B029/02(8) C01B031/04(7) C23C016/26(5)
C01B032/182(4) C30B025/18(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C01B032/184(3) C01B032/186(3)
C23C014/06(3) C23C016/02(3) C01B032/194(2)
C23C014/34(2) C23C028/00(2) C30B029/14(2)
发明人 MIWA T(2) MOMO J(2) NOMOTO K(2)
公开年 2016(13)
申请年 2015(8)  2016(4) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)