国家/地区 中国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3)
IPC B82Y040/00(3) C01B031/02(3) C01B031/04(3)
C23C016/26(3) H01B013/00(3) B82Y030/00(2)
发明人 FAN F Y(3) FAN S(3) JIANG K(3)
LIN X(3) LIN X Y(3) XIAO L(3)
公开年 2012(3)
申请年 2011(3) 
专利权人 UNIV TSINGHUA(3)