国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC H01J037/26(3)
发明人 GUO C(2) LIU N(2) LU Y(2)
NI X(2) WANG H(2)
公开年 2022(3)
申请年 2022(3)
专利权人 SHUIMU BEIJI.(2) UNIV TSINGHU.(2)