国家/地区 中国(7)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C23(3) H01(3) C30(2)
IPC小类 C23C(3) H01L(3) C30B(2)
IPC C23C016/26(2) C23C016/458(2) C30B025/12(2)
C30B029/02(2) H01L031/0224(2)
发明人 PENG P(7)
公开年 2012(7)
申请年 2011(7) 
专利权人 PENG P(4) CHANGZHOU ER.(2) JIN H(2)