| 国家/地区 |
中国(3)
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| IPC部 |
B(3)
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| IPC大类 |
B82(3)
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| IPC小类 |
B82Y(3)
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| IPC |
C23C016/26(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
ZHANG G, LI X, XIA J, ZHU Z, WANG S
KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M
