国家/地区 | China(2) |
关键词 | PRESSURE SENSOR(2) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | |
作者 | LIN X(2) |
MICROMACHINES
LIU Y, ZHANG Y, LIN X, LV KH, YANG P, QIU J, LIU GJ
APPLIED PHYSICS LETTERS
XU Y, GUO ZD, CHEN HB, YUAN Y, LOU JC, LIN X, GAO HY, CHEN HS, YU B
国家/地区 | China(2) |
关键词 | PRESSURE SENSOR(2) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | |
作者 | LIN X(2) |
MICROMACHINES
LIU Y, ZHANG Y, LIN X, LV KH, YANG P, QIU J, LIU GJ
APPLIED PHYSICS LETTERS
XU Y, GUO ZD, CHEN HB, YUAN Y, LOU JC, LIN X, GAO HY, CHEN HS, YU B