国家/地区 Singapore(6)
关键词 CARBON PLASMA(2)
出版物
出版时间 2016(2) 2019(2)
机构 NANYANG TECHNOL UNIV(6)
作者 RAWAT RS(6)

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

PAE JY, MEDWAL R, VAS JV, MATHAM MV, RAWAT RS

ADVANCED MATERIALS

CHAO DL, OUYANG B, LIANG P, HUONG TTT, JIA GC, HUANG H, XIA XH, RAWAT RS, FAN HJ