国家/地区 Japan(2)
关键词
出版物
出版时间 2013(2)
机构 NATL INST AD.(2)
作者 SATO M(2)

MICROELECTRONIC ENGINEERING

SATO M, OGAWA S, INUKAI M, IKENAGA E, MURO T, TAKAKUWA Y, NIHEI M, YOKOYAMA N

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

SATO M, TAKAHASHI M, NAKANO H, MURO T, TAKAKUWA Y, SATO S, NIHEI M, YOKOYAMA N