国家/地区 Japan(2)
关键词
出版物
出版时间 2013(2)
机构 NATL INST ADV IND SCI TECHNOL(2)
作者 SATO M(2)

MICROELECTRONIC ENGINEERING

SATO M, OGAWA S, INUKAI M, IKENAGA E, MURO T, TAKAKUWA Y, NIHEI M, YOKOYAMA N

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

SATO M, TAKAHASHI M, NAKANO H, MURO T, TAKAKUWA Y, SATO S, NIHEI M, YOKOYAMA N