国家/地区 |
Japan(2)![]() |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 |
OSAKA PREFECTURE UNIV(2)![]() |
作者 |
TADA K(2)![]() |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
ASAYAMA Y, YASUDA M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY A
KIDA S, YAMAMOTO M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y, YASUDA M