| 国家/地区 |
Japan（3）
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| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2018（3）
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| 机构 | |
| 作者 |
TANAKA S（3）
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CHEMCATCHEM
KOFUJI Y, ISOBE Y, SHIRAISHI Y, SAKAMOTO H, ICHIKAWA S, TANAKA S, HIRAI T
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
MURAKAMI K, TANAKA S, IIJIMA T, NAGAO M, NEMOTO Y, TAKEGUCHI M, YAMADA Y, SASAKI M
APPLIED PHYSICS EXPRESS
HAYASHI S, VISIKOVSKIY A, KAJIWARA T, IIMORI T, SHIRASAWA T, NAKASTUJI K, MIYAMACHI T, NAKASHIMA S, YAJI K, MASE K, KOMORI F, TANAKA S