| 国家/地区 | Japan（2） |
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| 机构 |
JAPAN ADV INST SCI TECHNOL（2）
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| 作者 |
WANG ZW（2）
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MICROMACHINES
LIU FY, WANG ZW, NAKANAO S, OGAWA S, MORITA Y, SCHMIDT M, HAQUE M, MURUGANATHAN M, MIZUTA H
APPLIED PHYSICS EXPRESS
IWASAKI T, WANG ZW, MURUGANATHAN M, MIZUTA H