国家/地区 | |
关键词 |
ICPECVD(2)![]() |
出版物 | PLASMA SCIENCE TEC.(2) |
出版时间 | |
机构 |
ZHEJIANG UNIV(2)![]() |
作者 |
WU AJ(2)![]() |
PLASMA SCIENCE TECHNOLOGY
ZHENG JG, TAN QH, CHEN H, WU AJ, LI XD, YAN JH, DAI JX, ZHOU J
PLASMA SCIENCE TECHNOLOGY
YANG J, XU RY, WU AJ, LI XD, LI L, SHEN WJ, YAN JH