国家/地区 Japan(2)
关键词
出版物
出版时间
机构 OSAKA PREFECTURE UNIV(2)
作者 YAMAMOTO M(2)

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

YAMAMOTO M, ASAYAMA Y, YASUDA M, KAWATA H, HIRAI Y

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY A

KIDA S, YAMAMOTO M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y, YASUDA M