国家/地区 | Japan(2) |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | OSAKA PREFECTURE UNIV(2) |
作者 | YAMAMOTO M(2) |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
YAMAMOTO M, ASAYAMA Y, YASUDA M, KAWATA H, HIRAI Y
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY A
KIDA S, YAMAMOTO M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y, YASUDA M