国家/地区 China(6)
关键词 CHEMICAL VAPOR DEPO.(3) SPUTTERING(2)
出版物 MICROCHIMICA ACTA(2) RSC ADVANCES(2)
出版时间 2017(3)
机构 SHANDONG UNI.(5)
作者 YUAN YW(6)

VACUUM

YUAN YW, WANG YS, LIU SS, ZHANG XX, LIU XZ, SUN CH, YUAN D, ZHANG Y, CAO XR