| 国家/地区 |
China（4）
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| 关键词 |
ALGAN（4）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | 2022（2） |
| 机构 | |
| 作者 |
CHINESE PHYSICS B
GAO JH, LI YH, HU YX, WANG ZT, HU AQ, GUO X
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
DING XY, SONG L, YU GH, CAI Y, SUN YH, ZHANG BL, DU ZK, ZENG ZM, ZHANG XP, ZHANG BS
MATERIALS LETTERS
LI L, XU Y, YANG F, LI JJ, TAO JH, CAI X, XU K, WANG JF, CAO B
JOURNAL OF PHYSICS DAPPLIED PHYSICS
RAN JX, HE R, WANG LL, LIU BZ, JI XL, SUN JY, WANG JX, LI JM, WEI TB