| 国家/地区 | |
| 关键词 |
AMORPHOUS CARBON（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2016（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
MICROELECTRONICS RELIABILITY
NARULA U, TAN CM, LAI CS
MATERIALS EXPRESS
AHN Y, KIM J, GANORKAR S, KIM YH, KIM SI