| 国家/地区 | Usa（4） China（3） |
| 关键词 |
ATOMIC LAYER DEPOSITION（12）
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| 出版物 | APPLIED SURFACE SCI.（2） NANOTECHNOLOGY（2） |
| 出版时间 |
2014（12）
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| 机构 | |
| 作者 |
NANOTECHNOLOGY
CHEN CY, CHEN CQ, HUANG PP, DUAN FF, ZHAO SC, LI P, FAN JC, SONG WG, QIN Y
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BEATTY J, CAO Y, TANABE I, DRIVER MS, DOWBEN PA, KELBER JA
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