国家/地区 Usa(2)
关键词 ATOMIC LAYER DEPOSITION(2)
出版物
出版时间 2021(2)
机构
作者

IEEE SENSORS JOURNAL

ALAMRI MA, LIU B, WALSH M, DOOLIN JL, BERRIE CL, WU JZ

ACS APPLIED NANO MATERIALS

WANG YF, HO VX, HENSCHEL ZN, COONEY MP, VINH NQ