国家/地区
关键词 ATOMIC LAYER DEPOSITION(2)
出版物 ACS APPLIED NANO MATERIALS(2)
出版时间 2021(2)
机构
作者

ACS APPLIED NANO MATERIALS

KAHRO T, TARRE A, KAAMBRE T, PIIRSOO HM, KOZLOVA J, RITSLAID P, KASIKOV A, JOGIAAS T, VINUESA G, DUENAS S, CASTAN H, TAMM A, KUKLI K

ACS APPLIED NANO MATERIALS

WANG YF, HO VX, HENSCHEL ZN, COONEY MP, VINH NQ