国家/地区 | |
关键词 | ATOMIC LAYER DEPOSITION(2) |
出版物 | ACS APPLIED NANO MATERIALS(2) |
出版时间 | 2021(2) |
机构 | |
作者 |
ACS APPLIED NANO MATERIALS
KAHRO T, TARRE A, KAAMBRE T, PIIRSOO HM, KOZLOVA J, RITSLAID P, KASIKOV A, JOGIAAS T, VINUESA G, DUENAS S, CASTAN H, TAMM A, KUKLI K
ACS APPLIED NANO MATERIALS
WANG YF, HO VX, HENSCHEL ZN, COONEY MP, VINH NQ