| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
ATOMIC LAYER DEPOSITION（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2022（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
ZHOU YB, WANG JT, HE P, CHEN SM, CHEN Z, ZANG YQ, LI Y, DUAN Y
NANO RESEARCH
ZHOU MF, XU XF, WAN GP, MOU PP, TENG SJ, WANG GZ