国家/地区 Taiwan(2)
关键词 CVD(2)
出版物
出版时间 2016(2)
机构
作者

SEMICONDUCTOR SCIENCE TECHNOLOGY

YANG WY, WU BY, SHIH CJ, LO ST, LEE HY, CHEN TM, CHANG YH, CHEN YF, LIANG CT

NANOTECHNOLOGY

HSIEH YP, CHU YH, TSAI HG, HOFMANN M