国家/地区 China(3)
关键词 CVD(3)
出版物
出版时间 2016(3)
机构 CHINESE ACAD SCI(3)
作者

SCIENCE BULLETIN

YANG Y, FU Q, WEI W, BAO XH

JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS

TANG CM, CHEN ZY, ZHANG HR, ZHANG YQ, ZHANG YH, SUI YP, YU GH, CAO YJ