| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
GAUGE FACTOR（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2013（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
CHINESE PHYSICS B
ZHAO J, ZHANG GY, SHI DX
JOURNAL OF MICRONANOLITHOGRAPHY MEMS MOEMS
ZHENG XH, CHEN X, KIM JK, LEE DW, LI XX