国家/地区 China(2) Usa(2)
关键词 INTERFACE EFFECT(4)
出版物
出版时间 2020(4)
机构
作者 WENG GJ(2) XIA XD(2)

ADVANCED ELECTRONIC MATERIALS

WEN JM, YAN CY, SUN ZH

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

HE HY, HE Z, SHEN Q