国家/地区
关键词 MAGNETRON SPUTTERING(2)
出版物
出版时间 2023(2)
机构
作者

ACS APPLIED NANO MATERIALS

LIU XY, HUANG YL, WU L, LIU R, LI YY, CHEN QF

CERAMICS INTERNATIONAL

CORREA MA, FERREIRA A, FRANCA SAN, ACCHAR W, RODRIGUES M, GAMINO M, BOHN F, VAZ F