国家/地区 | |
关键词 | NANOLITHOGRAPHY(2) |
出版物 | |
出版时间 | 2010(2) |
机构 | |
作者 |
ACS NANO
KIM BH, KIM JY, JEONG SJ, HWANG JO, LEE DH, SHIN DO, CHOI SY, KIM SO
NANO LETTERS
LIANG XG, JUNG YS, WU SW, ISMACH A, OLYNICK DL, CABRINI S, BOKOR J
国家/地区 | |
关键词 | NANOLITHOGRAPHY(2) |
出版物 | |
出版时间 | 2010(2) |
机构 | |
作者 |
ACS NANO
KIM BH, KIM JY, JEONG SJ, HWANG JO, LEE DH, SHIN DO, CHOI SY, KIM SO
NANO LETTERS
LIANG XG, JUNG YS, WU SW, ISMACH A, OLYNICK DL, CABRINI S, BOKOR J