国家/地区 | |
关键词 | NANOLITHOGRAPHY(2) |
出版物 | |
出版时间 | 2016(2) |
机构 | |
作者 |
NANO LETTERS
JEONG SJ, JO S, LEE J, YANG K, LEE H, LEE CS, PARK H, PARK S
IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY
TANG X, LAI KWC
国家/地区 | |
关键词 | NANOLITHOGRAPHY(2) |
出版物 | |
出版时间 | 2016(2) |
机构 | |
作者 |
NANO LETTERS
JEONG SJ, JO S, LEE J, YANG K, LEE H, LEE CS, PARK H, PARK S
IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY
TANG X, LAI KWC