| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
PECVD（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2021（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
CHINESE PHYSICS B
MIAO RX, ZHAO CH, WANG SQ, REN W, LI YF, SHU TK, YANG B
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
XU LY, XU Y, LUO AL, ZHOU H, CAO B, WANG CH, XU K