| 国家/地区 |
China（3）
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| 关键词 |
PLASMA ETCHING（3）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | 2021（2） |
| 机构 | |
| 作者 |
ARABIAN JOURNAL FOR SCIENCE ENGINEERING
DUAN Y, YANG L, GAO JY, GUO SH, HOU M, HU T, QIU JJ
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE TECHNOLOGY
KONG XC, HUANG HM, LI ZY, LIANG YQ, LI ZG, ZHU SL
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
CHEN XB, ZHANG SP, HOU DD, DUAN HW, DENG B, ZENG ZY, LIU BY, SUN LZ, SONG RY, DU JL, GAO P, PENG HL, LIU ZF, WANG LD