国家/地区 Korea(2)
关键词 PLASMA ETCHING(2)
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作者

NANOSCIENCE NANOTECHNOLOGY LETTERS

PARK S, SHEHZAD MA, CHOI W, KWON YH, EOM J, SEO Y

ADVANCED ELECTRONIC MATERIALS

LEE S, CHOI H, MOON I, SHIN H, WATANABE K, TANIGUCHI T, YOO WJ